X荧光光谱仪一般有以下三点分析模式：
1、点分析
将电子探针固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法用于显微结构的成份分析，例如，对材料晶界、夹杂、析出相、沉淀物、奇异相及非化学计量材料的组成等分析。
2、线分析
电子束沿一条分析线进行扫描(或试样扫描) 时，能获得元素含量变化的线分布曲线。如果和试样形貌像(二次电子像或背散射电子像)对照分析,能直观地获得元素在不同相或区域内的分布。沿感兴趣的线逐点测量成分，也可以划出该线的成分变化曲线。
3、面分析
将电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在CRT上以亮度分布显示出来（定性分析)，亮度越亮，说明元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常与形貌像对照分析。
点、线、面分析方法用途不同，检测灵敏度也不同，定点分析灵敏度，面扫描分析灵敏度。
X荧光光谱仪分析方法有以下优点：
1、分析速度高，测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。
2、X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。
3、非破坏分析：在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
4、X荧光光谱仪分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。
5、X荧光光谱仪的分析精密度高。
6、制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
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