1、连接管道的问题
检查ICP光谱仪的炬管雾化室等所有管路连接是否正确，接品处是否漏气，微小的空气进入等子炬可能导致点火失败或者正使用中的等离子体熄灭，或者分析结果差。
2、氩气吹扫
如果炬管、雾化室中的空气还没有被氩气完全吹扫出去，次点火时，可能不能点燃等离子体。第二次点火可能会点燃。另外，雾化气流量在点火之前的必须为零
3、蒸气
测完样品之后，炬管和雾化室内可能残留一些蒸气。这些蒸气可能会影响到点火。必要时清洗雾化室 。
4、低沸点样品
需要较高的功率运行维持等离子体，比如甲醇。
5、等离子气路不通畅
如果ICP光谱仪中气路扭曲变形，对氩气的流动产生阻碍，也影响点火。
6、废液管路堵塞
如果废液管路堵塞，雾化室中的废液将不能有效排出，导致等离子体熄灭或者不能点燃。排液良好的标志是能够看到废液管路中有一段一段的气泡随废液流动，否则，请调节废液管压力或者更换之。
7、炬管未装好
炬管没有安装好，不正，或漏气都会影响点火。
8、氩气纯度低
氩气的纯度十分重要。如果氩气纯度不够或者被污染，可能不能点燃等离子体。一般要求99.999%的氩气。
9、高频线圈与矩管不同心；循环水温度设得太低。
11、先确定气路系统没问题，炬管干净，再考虑以下问题。
有放电没??如果没放电就是放电的问题.如放电，但点不着火，那就是高频线圈的问韪了，如果点着了一下就灭，那可能是观光头出了问题。
12、如果没有动过炬管、线圈等，保证炬管没有破损，那就考虑射频功率管的问题。